今天，荷兰ASML（阿斯麦）公布了光刻机产品的最新进展。其中TWINSCAN NXE:3600D作为其目前研发中的最先进光刻机系统，终于敲定最终规格。具体来说，30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆，提高了18%的生产率，并改进机器匹配套准精度至1.1nm。
3600D定于2021年中旬出货交付，客户还需要一定时间等待，价格应该不会低于现款老型号的1.2亿美元。
目前，ASML已经投产的最先进光刻机是3400C，但主力出货型号是3400B。参数方面，3400B的套刻精度为2nm、曝光速度20mJ/cm2，每小时可曝光125片晶圆。
另外，ASML透露3400B在三季度也完成了软件升级。全新的DUV光刻机TWINSCAN NXT:2050i已经在三季度结束验证，四季度早期开始正式出货。
另外，ASML（阿斯麦）还公布了截止9月30日的三季度财报数据。当季销售收入为40亿欧元，净利润高达11亿欧元（约87亿元）。2020年前三季度，ASML总共实现净销售额97.24亿欧元，较去年同期77.83亿欧元提高近25%；净利润22.03亿欧元同样大幅提升51%。
ASML预估四季度的收入在36到38亿欧元，毛利率50%左右，2020全年的营收应该至少能达到133亿欧元。
据悉，当季ASML共获得60台光刻机的销售收入，总额31亿欧元，其中EUV光刻机14台，但收入占比达到了66%，粗略算了下，一台EUV光刻机大概是1.46亿欧元（约11亿元）。
地区方面，中国台湾贡献了光刻机收入的47%，看来台积电支付了一大笔EUV机器的货款。韩国厂商贡献了26%，中国大陆企业贡献了21%。
另外，当季ASML还接到了累计29亿欧元的新订单，并出货了10台EUV光刻机，型号以3400B为主。
展望2021年，ASML表示谨慎乐观，并给出较低两位数的预期收入增长判断。
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